世喆科技GPIC人產品介紹-半導體、化學品等材料及維修

首頁產品介紹半導體產業軸承

軸承

我們的供應商 – Fala 提供高性能的軸承。我們是第一家提供陶瓷混合式滾珠軸承應用於半導體業薄膜區的機器裝置上。陶瓷混合式滾珠軸承在很多真空和大氣的運用上提供了乾淨的, 壽命長的性能。高品質的軸承持久性是OEM廠的2-4倍,而且考慮到了潔淨度。軸承的規格針對每一個製程操作條件做了最佳化的設計。軸承的特性包含了:

設計	完全填充哥德式設計
材質	高硬度的陶瓷滾珠和不鏽鋼珠
保護度	雙面護板皆採用非磁性不鏽鋼製造
尺寸規格	精密公差
完工	超細緻
潤滑油	最佳化的perfluoropolyether (PFPE) 潤滑油脂

軸/承/優/點 ：

	特性	優點	優勢
材質	SiN滾珠	堅硬	精密度, 振動
材質	不鏽鋼間隔滾珠	滾動阻力	動作順暢, 壽命
填充物	完全式	硬度	精密度, 振動
設計	哥德式	硬度	精密度, 振動
設計	護板	限制油脂範圍	壽命, 污染
緊密度	<0.0001 in.	固定internal X-section	壽命, 污染
Finish	Ultra-fine	滾動阻力	壽命
潤滑劑	PFPE	不受真空及溫度影響	壽命

所有Fala 陶瓷混合式滾珠和相關零組件是直接更新的方式安裝在已存在的機器上。機器手臂包含200 mm HP™, HP+™ and VHP™ 機器裝置。

完全填充式陶瓷混合滾珠有護板的軸承包含了PFPE-PTFE油脂。Hub 軸承使用了被證實過的4點弧型接觸設計可於二方向裝卸。混合式相較於以往保留式有著較小的阻力。

無故障效能的軸承是一個很重要的污染物和停機的來源。Fala 軸承包括了護板、4點弧型接觸、完全填充式、高精確度減少70%微粒子在晶片製程當中排放，並且提高4倍的軸承壽命。我們的軸承也消除了晶片破片的發生，結合為一整組維修套件出售而且包含了高效能的刀片式外盒。

品質保固-- 所有Fala產品都是保固兩年，或是晶片處理做到600,000片。

提供項目

產品名稱	產品料號	內容
HP™ 標準型	H22589	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於HP™ 機台
HP™ 緩衝器	H22510	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於HP™ 機台包含高精密度的緩衝刀片式的外盒
HP™ 傳送器	H22520	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於HP™ 機台包含高精密度的傳送刀片式的外盒
HP™ 重新安裝	H22570	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於HP™ 機台, 已經有Fala的外盒安裝在機台上
軸承, 樞軸, 和外盒可分開購買。

產品名稱	產品料號	內容
HP+™ 標準型	H52980	外盒, 腕部, 和肘部軸承(上端&下端)應用於HP+™ 機台
HP+™ 緩衝器	H52900	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於HP+™ 機台包含高精密度的緩衝刀片式的外盒
HP+™ 傳送器	H52920	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於HP+™ 機台包含高精密度的傳送刀片式的外盒
HP+™ 上端	H22570	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於HP+™ 機台
軸承, 樞軸, 和外盒可分開購買。

產品名稱	產品料號	內容
VHP™ 標準型	H52194	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於VHP™ 機台
VHP™ 緩衝器	H52110	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於VHP™ 機台包含兩個高精密度的緩衝刀片式的外盒
VHP™ 重新安裝	H52199	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於VHP™ 機台, 已經有Fala的外盒安裝在機台上
軸承, 樞軸, 和外盒可分開購買。

產品名稱	產品料號	內容
HP™ RTP 緩衝器	H22540	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於HP™ 機台包含高精密度的緩衝刀片式的外盒適用於石英刀柄
HP™ 重新安裝	H22570	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於HP™ 機台, 已經有Fala的外盒安裝在機台上
HP™ RTP 外盒	A2009	刀片式外盒組裝應用於HP™ RTP 機台
軸承, 樞軸, 和外盒可分開購買。

產品名稱	產品料號	內容
HP™ HDP 套件組	H22530	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於HP™ 機台包含高精密度的緩衝刀片式的外盒
HP™ 重新安裝	H22570	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用在HP™ 機台並適於Fala的外盒技術
HP™ HDP 腕部軸承	A1100	高效能外盒組裝包含樞軸和軸承應用於HP™ HDP機台
軸承, 樞軸, 和外盒可分開購買。

產品名稱	產品料號	內容
VHP+ etch 套件組	H52210-X	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於VHP+™機台包含高精密度的緩衝刀片式的外盒
VHP™ 重新安裝	H52199	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用在VHP+™ 機台並適於Fala的外盒技術
VHP+ etch 外盒	A2004	高效能的外盒適用於VHP+ etch的運用
軸承, 樞軸, 和外盒可分開購買。

產品名稱	產品料號	內容
Producer® 散裝	424000	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於Producer® 機台
Producer® 部份預前組裝	R50005	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於Producer® 機台包含高精密度的緩衝刀片式的外盒
Producer® 完全預前組裝	R50004	外盒, 腕部, 和肘部軸承應用於Producer® 機台包含高精密度的傳送刀片式的外盒
軸承, 和手臂零組件可分開購買。

我們的供應商Fala所提供的陶瓷混合式滾珠軸承和相關零組件是運用直接更新的方式安裝在已存在的機台上。軸承的提供包含了300 mm Producer®, Centura® 1 blade, Centura® 2 blades, Endura® - VHP™ PVD, XP™, VxP™ 機器控制裝置。

軸承特色包含:
●完全填充式陶瓷混合滾珠有護板的軸承與PFPE-PTFE油脂。
●Hub 軸承的結構是使用了雙面護板，被證實過的4點弧型接觸設計可於二方向裝卸。
　混合式相較於以往保留式有著較小的阻力。
●無故障效能的軸承是一個降低機台的污染物和停機很重要的解決方案來源。Fala 軸承產品結構包括了護板，4點弧
　型接觸，完全填充式，高精確度減少70%微粒子在晶片製程當中排放，並且提高4倍的軸承壽命。經過事實證明，
　Fala 的軸承設計確保軸承的最大的硬度，也消除了晶圓破片的發生機率。此外，軸承零件可以結合為一整組維修套
　件並且搭配高效能的刀片式外盒一起購買。

品質保固. 所有Fala產品都是保固兩年, 或是晶片製程達到600,000片。

提供項目

產品名稱	產品料號	產品內容
Producer® 散裝	424000	Hub、腕部和肘部的軸承應用於Producer® 機台
Producer® 部份預前組裝	R50005	Hub、腕部和肘部的軸承應用於Producer® 機台包含高精密度的緩衝刀片式的外盒
Producer® 完全預前組裝	R50004	Hub、腕部和肘部的軸承應用於Producer® 機台包含高精密度的傳送刀片式的外盒
軸承, 和備用手臂組件可分開購買。

產品項目	產品內容
Centura® 單支刀片式保養套件組	Fala 產品技術結合了各種要素發展出最可靠Centura® 單支刀片式保養套件組: 高品質有護板的陶瓷混合式滾珠軸承，其軸承的中心點控制是利用重新機械式加工處理；傳送晶圓的外盒蓋板則是經過鍍鈦材質以增強外盒的硬度。
Hub 軸承	Hub 軸承的結構設計是運用了雙面護板，運用定位– 獨立4點弧型接觸的結構。
肘部軸承	肘部軸承是有護板而且是精密謹慎的結合在一起。但是，Centura® 保養組件只提供給pre-assembled使用。

一般而言，Centura® 單支刀片式機器手臂在維修方面是非常的困難。我們的製造供應商
Fala運用卓越的機械技術與重新設計組裝的方式，讓客戶可以重覆使用機器零組件和減少
OEM設計造成製程上所產生的不良問題，並且改善OEM 廣泛使用壓合式和複雜的負載機
械原理所導致零組件短暫的使用期與困難的維護生產製程作業。

產品名稱	產品料號	產品內容
VHP™ 標準型	211300	Hub和肘部的軸承與2個新的外盒應用於VHP™ 機台
VHP™ 重新安裝	211300R	Hub、肘部和腕部的軸承應用於VHP™ 機台並適與Fala外盒技術
刀片式外盒	A3000	高精密度可重覆使用的刀片式外盒與樞軸和軸承一起使用。
刀片式外盒	A3010	高精密度可重覆使用的刀片式外盒與樞軸和軸承(密閉式齒輪) 一起使用。
軸承, 樞軸, 和外盒可分開購買。

產品名稱	產品料號	產品內容
VHP™ 標準型	211300	Hub和肘部的軸承與2個新的外盒應用於VHP™ 機台
VHP™ 重新安裝	211300R	Hub、肘部和腕部的軸承應用於VHP™ 機台並使用 Fala外盒技術
刀片式外盒	A3000	高精密度可重覆使用的刀片式外盒與樞軸和軸承一起使用。
刀片式外盒	A3010	高精密度可重覆使用的刀片式外盒與樞軸和軸承 (密閉式齒輪)一起使用。
軸承, 樞軸, 和外盒可分開購買。

產品項目	產品內容
雙層軸承(Duplex Bearing)保固	所有新的Fala軸承使用期可保固2年。雙層全填滿混合式陶瓷滾珠軸承(Duplex Bearing )。
完工	外觀表面鍍鎳處理，完工後表面更細緻。
尺寸規格	完美精確的尺寸，能有效地承受機械負載運作。
刀片式外盒 & 樞軸	建議組裝高效能的腕軸承包含與高精密度經過退火鍍鎳加工過程可重覆使用的樞軸一起應用於機台上。

現行的半導體設備裡，Endura機台所使用的Robot大多數以VHP 及 XP為主，並常見於PVD部門，
在薄膜工程部也佔有舉足輕重的地位。所以，XP™ 機器控制裝置通常可見運作於Endura™ 機台。
在Endura™ 機台保養部份，如果損壞要購買一套新的手臂會需耗高成本的費用。因此委送給Fala
做XP™ 機器手臂維修是一項對客戶可達到低成本高效能的目標。

對於XP™ 機器手臂維修部份，因XP™ 機器手臂的腰部軸承需要使用不存在於一般Fab環境下的特
殊治具取出，所以其機器手臂在晶圓廠區內工程師是無法自行維修。

新的雙層軸承是由我們的夥伴 –Fala 運用內部重新加工流程製造出一個乾淨和可長時間使用的軸
承。經Fala重工後應用於機台上以提高機台的高效能製程與機器手臂使用的持久度。此 Fala 優秀
的重新組裝技術已經廣泛的被全球的客戶所認可與接受。

產品名稱	產品料號	產品內容
VxP™ 重工	R40200	重工客戶所提供的腰部機器手臂組裝與更換2個新的雙層軸承， 8個肘部軸承與完全的預前組裝

　

我們有提供housing 解決方案應用於200 mm和300 mm 機台。我們外盒(housings)的製作是從6061 Al 再加上鍍鎳增加產品本身的耐久性。此項設計的概念是將此產品能夠適用在高溫的製程。外盒(housing)的內部, 軸承是滑套式裝入一體成型的Pivots。

Fala Pivots 是經退火鍛造處理, Pivots 可以獨立重覆被使用。

除此之外, 每一個Pivot 的齒輪是經由線切割(Wire-EDM)處理的轉動齒輪,可以讓適當的能量轉移。高精密的齒輪之間是不需要潤滑劑。

提供項目

Fala所有的外盒是經過電鍍, 現場維護方便並且可以重複使用, 再加上我們的外盒確定了樞軸支點的相對和絕對方向。外盒經過了鍛造,加強硬度處理和自動扭矩設計以保證適當的blade傳送路線和減少長期微粒子(Particle)的產生。

Product	Fala PN	OEM Ref.	Description	Picture
HP™ Buffer	A1000	0010-20130 0010-20128	Fala blade housings and clamps are designed to be reusable, droop-free and long lasting. Click for video animation of HP+™ housing. Notice the perfect meshing possible with curved wire EDM gears.
HP™/VHP™ Transfer	A1200	0020-21104 0020-21105	200 mm housings may look superficially identical but blade compatibility needs to be verified.
HP+™ Buffer	A2100	0010-13242 0010-75512
HP+™ Transfer	A2200	0021-22492 0040-23915
HDP Buffer	A1100	0010-02177 0010-02176	All Fala housings are built around similar design principles: 1- High precision wrist bearing (ceramic hybrid) 2- Tempered full body pivot with wire EDM teeth 3- Stainless steel shrunk fit shaft insert 4- Screw torque does not affect bearing loading 5- 6061 base and cover with electroless nickel finish
HP™ RTP Buffer	A2009	0010-02177 0010-02176
TiCl4 Buffer (CVD Ti-TiN)	A2300
VHP™ Ultima® 200	A2004	0200-00834 (blade ref.)
VHP™/XP™ 300	A3000	0020-75700 0010-17402 0010-17407 0010-29842 0040-50657
Centura® RTP 300	A3010	0020-75700 0010-17402 0010-17407 0010-29842 0040-50657

Fala 的樞軸產品是經過退火鍍鎳的不鏽鋼製造而成並且可以運用在高溫的製程當中。OEM所提供的樞軸則是呈現輕軟, 容易變型, 傳送偏離軸心的負載, 而且保持左-右的同步。

我們運用了退火鍍鎳和先進的機械技術去提升重覆使用高精密的零組件良率, 此技術排除了長時間晶片可能掉至地面破裂, 並且提高軸承的壽命和減少污染物的產生。

產品	Fala料號	參考料號	內容	照片
產品	Fala料號	參考料號	內容	照片
HP™/VHP™ thin pivot	P1001 P1002	0020-70271 0020-70272	薄型的樞軸，採用退火鍍鎳不鏽剛材質，高精密度的齒輪，可以重覆使用，使用時與OEM外盒一起組裝。
HP™/VHP™/RTP	P1101 P1102		厚型的樞軸，採用退火鍍鎳不鏽剛材質，高精密度的齒輪，可以重覆使用，使用時與Fala外盒一起組裝。
HP+™/VHP+™	P2001 P2002	0010-02170/ 0010-06681 0010-02171/ 0010-06682	厚型的樞軸，採用退火鍍鎳不鏽剛材質，高精密度的齒輪，可以重覆使用，使用時可以與 Fala或OEM外盒一起組裝。
VHP™ Ultima® 200	P2005 P2006	0040-08075 0040-08076	厚型的樞軸，採用退火鍍鎳不鏽剛材質，高精密度的齒輪，可以重覆使用，使用時可以與 Fala外盒一起組裝。
HP™ HDP			厚型的樞軸，採用退火鍍鎳不鏽剛材質，高精密度的齒輪，延展性高，可以重覆使用，使用時可以與Fala外盒一起組裝。
VHP™ 300/XP™	P3001 P3002	0010-02177 0010-02176	厚型的樞軸，採用退火鍍鎳不鏽剛材質，高精密度的齒輪，可以重覆使用，使用時與 Fala 300 mm外盒一起組裝。

現今, 由於成本效益的控管是一個重要的議題存在於每一家的公司當中, 更換的技術和成本已逐漸的取代購買一支新的機器設備去做機台更新的動作。依據市場上的需求, 我們提供300 mm機器控制裝置重新加工的服務, 包含XP™ 腰部軸承組裝, Producer® 機器手臂組裝, Centura® 2-blades 預前組裝, Centura® 1-blade 預前組裝和 Varian/TEL® MB2, M2i 機器控制裝置。

我們的零組件產品可以應用在眾多的機器控制裝置，損壞或老舊的零件都可以從壓合式的設計被維修或取代更新到滑套式的設計讓使用者更容易做保養。所有的機器控制裝置在維修時都是很小心的被組裝, 而且每次保養時間可以省下4-5個小時和排除力距錯誤導致晶片在傳送的過程中破裂或是減短軸承的使用期限。

當然, Fala 發展許多維修作業流程去延長機器手臂和腰部軸承的組裝恢復至原來的狀態。高品質的軸承應用在機器手臂經過客戶的資料證實其使用期限勝於OEM產品的規格。

提供項目

關於XP™ 腰部軸承組裝技術, 我們提供數種XP™ 零組件給客戶選擇, 不但減少了前置的工作時間還協助客戶完成保養的作業程序。我們的產品的料號包含了R40001 & 40002。基本上Endura™ XP™ 機器手臂無法在一般fab環境下做維修的動作, 必須在極潔淨的環境下用特殊的工具將已經老舊的XP™ 腰部軸承取出, 所以Fala純熟和有經驗的維修技術已經可以延續機器手臂的壽命和使用期。

XP™ 經過重新加工後, 我們的製造商非常注重每一支重新加工的機器手臂安裝在機台是可以正常運用的,所以首先, XP™ 會先經過一整套自我的可靠度測試流程以確定機器手臂交給客戶後的穩定性。

FALA提供的XP™機器手臂重工的服務上，優點如下：

◎ 雙層全填滿的混合式陶瓷軸承(Duplex Bearing )

◎ 外觀表面鍍鎳處理, 完工後表面更細緻

◎ 完美精確的尺寸, 組裝後能有效地承受機械負載

◎ 前置工作時間: 2 週

◎ 所有產品保固兩年, 或是晶片製程600,000片

◎ 提供備用機器手臂以減少等待時間

我們所提供XP™ 手臂再生服務，基本上享有優越的整組外盒(Housing Set)與外盒軸承(Hub Bearing)高品質產品外，還可大幅地降低成本，提供半導體客戶有新的選擇, 不需要花大成本買一組新的機器手臂。

Producer 機器手臂重新加工服務包含了兩種, Producer® 機器手臂的組裝和Producer® 整套加上前部的組裝。當Producer 機器手臂在運作時, 我們發現其肘部軸承是主要污染物的來源, 而且更換困難。再加上OEM機器手臂口徑偏離中心, 所以我們的機器手臂組裝包括了所有口徑復原至中心點和平行點3個尺寸的檢視。

重新裁製機器手臂的口徑從壓合式的型式改為滑套式的口徑。內徑部份經過了鎳加工, 研磨, 外部表面重新處理, 並且使用了高精密度有護板的陶瓷混合式滾珠軸承。

我們的producer 機器手臂組裝有三種選擇呈現在列表中。所有的產品前置作業時間是2個星期, 保固是24個月或是晶片處理 600,000片。

項目	外盒 & 外盒軸承	Producer 機器手臂
424000 2個外盒軸承和2個重新加工機器手臂
R50000 2個外盒和先前 + 重新加工手臂的組裝
R50004 先前外盒 + 機器手臂的組裝

We have Centura® 2-blades Preassembly, PN 211300 and Centura® 1-blade Preassembly, PN R30000. Our skillful experiences save customers’ money for buying new robots to do PM. The reworked Centura robots are with shielded upper and lower elbow bearings. All products are warranted to 600,000 wafer processed or 24 months. Normal lead time: 2 weeks.

Varian/TEL® MB2, M2i 軸承。我們的供應商依客戶需求, 研究開發一套高精密陶瓷混合式滾珠軸承, 它取代了舊款、使用期短的軸承零組件應用在M2i/MB2 Varian/TEL 機台上。當然, 我們不只提供更新軸承部份, 也提供維修M2i/MB2 Varian/TEL機台的服務。所有Fala產品都是保固兩年, 或是晶片製程達到600,000片。

產品名稱	產品料號	內容
MB2™ 維修	R70000	MB2 機器手臂機械式拆裝檢修。包含軸承的更換與其它零件的檢查, 並對損壞的零件進行修復和更新。
MB2 肘部	E2600	軸承, 陶瓷混合式滾珠, 護板設計
MB2 肘部	E2200	軸承, 陶瓷混合式滾珠, 護板設計

中心轉軸的重新加工服務, 由眾多維修品回貨給客戶的使用狀況證實, 我們的供應商-Fala已經有很成熟和傑出的更新軸承的經驗; 並且幫助客戶解決了客戶擾人的公司成本壓力。除此之外, 我們代客戶研發的DNS SU軸承, 也成功的讓客戶順利的應用在DNS SU的機台上, 並減少污染物的產生, 提升了晶圓製程良率。我們的前置時間是2週, 新的取代軸承是經過100%被測試軸承內部的潔淨度。

每一個軸心是經過平衡度和中心點的檢測以確保組裝後機台能正常的運轉。

提供項目

SEZ Da Vinci™ 中心轉軸, 是普遍應用在單一濕蝕刻機台存在於半導體產業中。許多中心轉軸是需要被週期性的更換。Fala 在轉軸的重新加工方面, 技術整合了眾多的優點去提高可靠度的良率與耐用性的零組件, 我們成熟的維修經驗, 已經幫助許多客戶解決了降低成本的問題。

特點:
◎ 陶瓷混合式高速轉速滾珠軸承
◎ 護板設計
◎ Multiply Alkyl Cyclopentane 潤滑劑
◎ OEM料號: 2328877 / 2352492
◎ 轉速: 16,000 rpm!

DNS™ 清洗和濕蝕刻機台主要包含了高速度的轉動夾盤. 依照客戶的需求, Fala 幫客戶開發了高品質的軸承應用在此環境中。軸承的品質提高了此些夾盤3倍的使用壽命。軸承的重新設計包含了眾多特色:

◎ 陶瓷混合式高速轉速滾珠軸承
◎ 護板設計
◎ Multiply Alkyl Cyclopentane 潤滑劑
◎ 雙滾珠路徑
◎ 產品料號 E6000