品質保證嚴格把關
靶材

現代科技的進步, LCD的技術已逐漸取代舊時代的黑白電視, 而且逐漸取代人們的生活習慣和方便性, 例如LCD電視, 手機, LCD 顯視器等等。由於我們發現, ITO 電極和LCD的基板是密不可分, 而且靶材是LCD材料的必需品, 所以我們提供高品質的靶材給LCD 產業的客戶選擇, 產品包含ITO, AZO, Mo, Cr, Al 靶材。中色(寧夏)東方集團有限公司是我們主要的供應商。

液晶已逐漸成為人們生活中不可缺少的必需品。由於科技的進步,液晶的技術已經是越來越的精緻和細膩。液晶的製作材料,我們發現液晶的玻璃基板是與ITO電極有關,電極的製作又是由一種可穿透的導體ITO所製造而成,所以高品質的靶材材料是一個極重要的成份存在於液晶的製程當中。然而,我們提供了高品質的ITO(銦錫氧化物)靶材,是生產ITO透明導電膜玻璃極其重要的材料之一。ITO靶材可以作為特殊的鍍膜材料之一利用磁電管濺射的技術製造導電玻璃,可以應用在平面顯示器(FPD)方面,包含液晶顯示器、電子採色顯示器(ECD)、電子發光顯示器(ELD)等等。此外,也可以應用在冰櫃玻璃,電子屏幕玻璃,高層建築的門窗玻璃,汽車,火車和飛機的檔風玻璃諸如此類等,分別存在於航天,工業,及電子資訊產業等高科技領域。

                            
氧化銦錫粉技術指標:


1.ITO

1)
粉體純度:>99.99%(基於金屬雜質)(採用ICP直讀光譜儀)

2)
粉體粒度: :15---100nm; 0.1---10um (採用TEM;SEM;費氏粒度儀)

3)
粉體顏色: 黃色; 藍色; 草綠色(採用色譜儀)

4)
粉體比表面積:10---70m2/g

2.ITO靶材

1)
粉體純度:>99.99%(基於金屬雜質)(採用ICP直讀光譜儀)

2)
靶材密度:98-99%(熱壓靶材);99.3-99.9%(燒結靶材)(採用排水法)

3)
靶材電阻率:2.0*10-4(熱壓靶材);1.6-1.8*10-4(燒結靶材) )(採用電阻儀)

4)靶材的金相:

5)靶材的含氧量:採用測氧儀檢測靶材的含氧量

6)靶材的尺寸:250*200mm (熱壓靶材);300*540mm (燒結靶材)


  

ITO粉体純度指標(ppm)

成份
Na
Cr
Ca
Mg
Cu
Cd
Pb
Al
含量,
5
5
15
10
10
5
5
10
成份
Ni
Zn
Mn
Co
Bi
Fe
Mo
Si
含量,
5
10
5
5
5
15
5
10












ITO
粉体純度指標(ppm)


成份
Fe
Sb
Ca
Mg
Cu
Cd
Pb
Al
含量,≤
20
10
15
10
10
10
10
10
成份
Ni
Si
 
 
 
 
 
 
含量,≤
10
20
 
 
 
 
 
 

AZO (鋁鋅錫氧化物靶材) 靶材是一種導電塗料。由於它是無毒性物質, 成本低, 容易塗上材料和備料, 所以被廣泛的應用在平面顯示器, 薄膜太陽能電池(CIGS、CdTe、a-Si:H), 光電零件, 建築節能玻璃(LOW-E glass)和幅射不透區域等等。

標準 / 特性:

§ AZO 靶材的特性

AZO 膜禁帶寬為3.3eV, 六方籤鋅礦結構
AZO薄膜的可見光透過率一般在90%左右
氫氣、等離子環境中的化學穩定性比ITO薄膜好

§
密度: ≥97%

§ 純度: ≥99.95%

§ 尺寸:280×150 ×Th.mm

§ 顏色: -

§ 體積電阻5×10- 4Ω ·cm


AZO/ZnO靶材的技術水平

技術名稱
產品尺寸
產品達到的技術指標
常壓燒结法
1.平面靶材
290*150*13mm
2.管狀靶材
Φ85*8mm()
1.密度>98%
2.體積電阻率5*10-4Ω.cm
真空熱壓法
最大尺寸
200*150mm
1.密度>98%
2.體積電阻率<10-3Ω.cm

 

 

鉬靶/鉬圓片/鉬光盤
密度:>=10.15g /cm3
純度:MO >=99.95%
規格:D(4.0-80)毫米*(0.2-6.0)毫米
外觀:此產品具有金屬銀色光澤。供應在光澤,明亮,或滾狀的條件中。
應用:半導體器件和真空部分。
 

靶材種類

典型成份 %

靶材類型

圓靶

板靶

管靶

TiAl

Ti /Al : 75/25﹑66/33﹑
50/50﹑33/66﹑
25/75

V

V

V

AlTiSi

按客戶要求

V

V

V

CrAl

按客戶要求

V

V

V

AlCrSi

按客戶要求

V

V

V

 

§ 材  質:Al
§ 純  度:> 99.999 %
§ 密  度:> 99.9 %
§ 尺  寸:選擇在2" dia x 3.0mm (厚)
§ 包裝型態:真空包裝

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