◎ 適用: 降低製程氣體反應之副產物堆積情形 
◎ 使用氣體: N2 
◎ 氣體流量: 20 litter/min – 150 litter/min 
◎ 溫度控制範圍: 300±1℃ 
◎ N2出口端設置溫度感測棒 
◎ 加熱本體採用SUS不鏽鋼材質 
◎ 加熱方式 : 鹵素燈管(間接加熱) , 燈管壽命 :保固一年 
◎ 額定使用電壓: 110 V~266V 
◎ 消耗功率: 500 W/1000W 
◎ 加熱本體重量:3.6KG 
◎ 控制器重量:6.1 Kg 
◎ 氣體配管連接方式: Swagelok 1/4 inch 
◎ 最高使用壓力: 10KG/cm2G 
◎ 加熱本體尺寸: L210 x 89 in diameter 
◎ 控制器尺寸: 300 x 260 x 220