材質

特性

顏色

硬度

最高使用溫度

P-S75B
標準級

1.特佳耐化學藥劑、溶劑、蒸氣、Plasma等特性
2.低氣體釋出、低氣體透過性
3.低溶離性
4.用途：半導體液晶相關設備《光阻剝離、CMP、Coater、Developer、清洗、乾蝕刻、CVD、排氣管線、真空邦浦、化學藥液槽、化學工業相關設備(化學藥劑邦浦、槽閥)》

黑

75

260℃

P-S75BF
普及標準級

1.兼具耐化學藥劑性及經濟性
2.耐溶劑、耐胺性、耐蒸氣性
3.低溶離性
4.用途：半導體液晶相關設備《光阻剝離、CMP、Coater、Developer、清洗、乾蝕刻、CVD、排氣管線、真空邦浦、化學藥液槽、化學工業相關設備(化學藥劑邦浦、槽閥)》

黑

76

200℃ 

P-H75B2
特殊耐熱級
 

1.耐熱、胺類、蒸氣等特性
2.而化學藥劑、Plasma、溶劑、低氣體釋出、低氣體透過性
3.用途：半導體液晶相關設備《擴散爐、CVD、退化爐》

黑

74

320℃

P-S75W
耐Plasma級
 

1.兼具耐Plasma性及經濟性
2.低氣體釋出、低氣體透過性
3.用途：半導體液晶相關設備《乾蝕刻、CVD》

白

76

230℃

P-H70NF2
耐Plasma低粒子污染級

1.耐化學藥劑性、胺類、蒸氣、溶劑等特性
2.低氣體釋出、低氣體透過性
3.用途：半導體液晶相關設備《光乾蝕刻、CVD》

淡黃

65

200℃

P-H70PLUS
耐低粒子污染
超低溶離級

1.耐化學藥劑性、胺類、蒸氣、溶劑等特性
2.低氣體釋出、低氣體透過性
用途：半導體液晶相關設備《乾蝕刻、CVD、高純度藥液容器或管線、洗淨工作站》

淡黃

67

230℃

P-H75WU
耐Plasma級

1.兼具抗Plasma性、耐熱性及機械特性
2.耐化學藥劑性、胺類、溶劑等特性
3.低氣體釋出、低氣體透過性
4.用途：半導體液晶相關設備《光乾蝕刻、CVD》

白

80

260℃ - 290℃